Model470是*先進的溶解臭氧測量分析儀，為半導體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設計。它能夠提供去離子水或硫酸中濃度高達150mg/L的溶解臭氧測量。470已完成“預備清潔”，能夠滿足高純度半導體過程的需求，并且可簡單的直接拼接進任何濕法處理的環(huán)流回路中，*高支持150 SLPM的流量。

   470型傳感器使用雙路取樣傳感技術，達到了****的性能，且擺脫了對參比液體測量的需求。 通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包裹的內部連接電纜。470傳感器能夠通過模擬或數(shù)字信號向濕法處理過程控制臺遠程報告測量的濃度。

應用范圍：

1、液態(tài)溶解臭氧

2、半導體濕法清洗系統(tǒng)

3、超純水系統(tǒng)

4、制藥業(yè)

5、水處理

6、其他工業(yè)過程

技術指標：

測量原理： 紫外吸收法，雙路取樣傳感技術
紫外光源：低壓汞燈
測量單位：ppmw, mg/L
測量范圍：0-150 mg/L (150 ppmw)
精 度： 0.5mg/L 或 1%讀數(shù) (以較大值為準）
水流量： 高達150 SLPM
采樣端口：1”, 3/4”, 3/8” Flaretek® 連接
*大壓強：55 PSI
接觸材料： 特氟龍®, 藍寶石, 與半導體流程相容
外 殼： 聚四氟乙烯特氟隆®
尺 寸： 垂直固定(144 x 171 x 82 mm)
電 纜： 特氟龍®外層
電 源： +15 VDC 
模擬輸出：4-20mA或0-5VDC，出廠時選擇
數(shù)字輸出：I/O RS-232 或 RS485，出廠時選擇
遠程校零：通過DB15進行遠程零點校準
認 證： CE認證
維 護： 紫外燈每24個月替換一次，無其他預定維護